3.22 откачиваемые вещества (substances being pumped): Вещества, поступающие в насос: газы, пары, аэрозоли и поднятые в воздух твердые частицы.
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации. academic.ru. 2015.
ГОСТ Р 52615-2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы — Терминология ГОСТ Р 52615 2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы оригинал документа: 3.1 вакуум (vacuum): Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного. Примечание Давление… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
Сточные воды — воды, загрязнённые бытовыми отбросами и производственными отходами и удаляемые с территорий населённых мест и промышленных предприятий системами канализации (См. Канализация). К С. в. относят также воды, образующиеся в результате… … Большая советская энциклопедия
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА — получение, измерение и применение давлений порядка тысячной нормального атмосферного давления и более низких. Вакуумная техника, методы которой когда то не выходили за пределы научной лаборатории, в настоящее время применяется во многих отраслях… … Энциклопедия Кольера
ионно-лучевое травление — Ion Beam Etching Ионно лучевое травление (ИЛТ) Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов. Реактивное ИЛТ (РИЛТ) удаление материала за счет химического взаимодействия… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ion beam etching — Ion Beam Etching Ионно лучевое травление (ИЛТ) Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов. Реактивное ИЛТ (РИЛТ) удаление материала за счет химического взаимодействия… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
